工學院及電機大樓所屬class 100等級無塵室，面積120坪，不含電機大樓空間建設之投資金額為新台幣三千萬元，自92年七月啟用以來，對本系之半導體及光電製程教學、技術研發、研究計畫之支援，以及對全校師生服務已有良好績效，未來希望配合中科園區規劃的產業發展，將無塵室環境改善、軟硬體設施升級、擴大服務範圍，並擴及他校師生及產業界，也將致力於中部人才培訓以及推動奈米科技、綠色能源及光機電方面的研究。為整合資源、提供良好研究環境，以提升光電半導體研究水準，現已更名為『光電半導體製程中心』。


本光電製程中心對全校師生服務可說已有良好績效，累計服務除本系外，尚包括物理系所、機械系所、材料系所、精密所、環工系等老師24人，本校研究生超過100人，本光電製程中心的功能與貢獻可說非常顯著。